對高(gāo)純化工原料試劑或高(gāo)純原素純淨度或雜質含量的(de)檢測,一(yī)般常見分子(zǐ)光譜圖、分子(zǐ)光譜分析法、色譜儀、質譜分析比色計化學(xué)成分分析等方式 開展測量。其陽離(lí)子(zǐ)規格型号正常情況下參考試劑優等品規範,沒有(yǒu)優等品規範的(de)商(shāng)品由生産制造企業自(zì)主制訂。依據主要用途不一(yī)樣,把高(gāo)純化工原料試劑又分為(wèi)幾類:
一(yī)般離(lí)純試劑:
就是指一(yī)些高(gāo)純氫氧化物金屬材料、金屬氧化物、金屬材料酸鹽等,常見于核能工業生産原材料、電子(zǐ)工業原材料、半導體材料基本原材料等,金屬單質的(de)金屬氧化物、用于配置标液和(hé)做(zuò)為(wèi)标準物質,此類試劑常規定含量在4N-6N中間。
潔淨電子(zǐ)器件純試劑:
潔淨高(gāo)純試劑是集成電路芯片(IC)生産制造加工工藝中的(de)專用型化工品,用以矽片清洗、光刻技術、浸蝕工藝流程中。對這類高(gāo)純試劑中可(kě)溶雜質和(hé)固體粒子(zǐ)規定十分嚴苛,為(wèi)融入IC處理(lǐ)速度持續提升的(de)要求,國(guó)際性上半導體材料行(xíng)業協會(SemiconductorIndustryAssociation)近期發布Semic7(合适0.8-1.2μm生産工藝)和(hé)Semic8(合适于0.2-0.6μm生産工藝)等級的(de)試劑産品質量标準。在我(wǒ)國(guó)在原來MOS級、BV-I級試劑的(de)基本上,又制訂出BV-II級和(hé)BV-III級試劑規範(等同于Semic7)。我(wǒ)研究室也研發多種多樣MOS級、BV-I級BV-II級和(hé)一(yī)部分BV-III級試劑,其顆粒度(0.5粒子(zǐ)顆粒物)≤25-一(yī)百個∕ml,金屬材料雜質總産量≤10-3—10-5﹪
光刻膠高(gāo)純試劑:
光刻技術是一(yī)種表層生産加工技術性,在半導體材料電子(zǐ)元器件和(hé)集成電路芯片生産制造中占據關鍵影響力。為(wèi)在表層完成可(kě)選擇性浸蝕,選用一(yī)類具備抗蝕功效的(de)光感應複合樹脂做(zuò)為(wèi)抗蝕鍍層,稱之為(wèi)抗蝕劑,中國(guó)統稱光刻膠。依照溶解性的(de)不一(yī)樣而将光刻膠分成“正性”光刻膠和(hé)“負性”光刻膠,按常用曝出燈源和(hé)輻射源燈源的(de)不一(yī)樣,又可(kě)将其分成紫外線、遠紫外線、離(lí)子(zǐ)束、X射線等光刻膠。
光刻膠是細微圖型生産加工的(de)一(yī)種重要試劑,規定水份低(dī)、金屬材料雜質含量低(dī)(≤10-6)
磨打磨抛光高(gāo)純試劑:
就是指用以矽單晶片表層的(de)碾磨和(hé)打磨抛光的(de)高(gāo)純度試劑。它又分研磨成粉(三氧化二鋁)和(hé)磨液(水和(hé)除油劑),能碾磨表層做(zuò)到μm級加工精度。這類試劑規定顆粒物粒度分布小(納米技術),純淨度高(gāo),金屬材料雜質一(yī)般規定2.0×10-4—5×10-5﹪
lcd屏高(gāo)純試劑:
lcd屏是一(yī)類電子(zǐ)器件化工材料,就是指在一(yī)定溫度範圍內(nèi)展現接近固相和(hé)高(gāo)效液相中間的(de)正中間相的(de)有(yǒu)機(jī)化合物。它不僅有(yǒu)液體的(de)流通性也是有(yǒu)晶态的(de)各種各樣,有(yǒu)時候人叫他為(wèi)第四态。